基本信息
| 标准名称： | 卧式液相外延系统通用规范 |
| 英文名称： | Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子设备专用材料、零件、结构件 >> 电子设备用绝缘零件 |
| ICS分类： | 电气工程 >> 特殊工作条件用电气设备 |
| 发布日期： | 2002-10-30 |
| 实施日期： | 2003-03-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 起草单位： | 中国电子科技集团公司第四十八所 |
| 出版社： | 工业电子出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-18 |
| 页数： | 12页 |
适用范围
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。
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所属分类： 电子元器件与信息技术 电子设备专用材料 零件 结构件 电子设备用绝缘零件 电气工程 特殊工作条件用电气设备